Polissage chimico-mécanique

Défis liés à la surveillance des propriétés des boues

Maintenir une densité et une viscosité constantes de la boue lors du polissage chimico-mécanique représente un défi majeur. Les propriétés de la boue peuvent varier en raison de facteurs tels que le transport, la dilution avec de l'eau ou du peroxyde d'hydrogène, un mélange inadéquat ou une dégradation chimique. Par exemple, la sédimentation des particules dans les bacs à boue peut entraîner une densité plus élevée au fond, ce qui entraîne un polissage non uniforme. Les méthodes de surveillance traditionnelles, telles que le pH, le potentiel d'oxydoréduction (ORP) ou la conductivité, sont souvent inadaptées, car elles ne détectent pas les variations subtiles de la composition de la boue. Ces limitations peuvent entraîner des défauts, une réduction des taux d'élimination et une augmentation des coûts des consommables, ce qui représente des risques importants pour les fabricants d'équipements pour semi-conducteurs et les prestataires de services CMP. Les variations de composition lors de la manipulation et de la distribution affectent les performances. Les nœuds inférieurs à 10 nm nécessitent un contrôle plus strict de la pureté de la boue et de la précision du mélange. Le pH et l'ORP présentent des variations minimes, tandis que la conductivité varie avec le vieillissement de la boue. Des propriétés de boue irrégulières peuvent augmenter les taux de défauts jusqu'à 20 %, selon des études sectorielles.

Capteurs en ligne de Lonnmeter pour la surveillance en temps réel

Lonnmeter répond à ces défis avec ses densimètres de boues non nucléaires avancés etcapteurs de viscosité, comprenant un viscosimètre en ligne pour les mesures de viscosité en ligne et un densimètre à ultrasons pour la surveillance simultanée de la densité et de la viscosité des boues. Ces capteurs sont conçus pour une intégration transparente aux procédés CMP, grâce à des connexions conformes aux normes de l'industrie. Les solutions Lonnmeter offrent une fiabilité à long terme et une maintenance réduite grâce à leur construction robuste. Les données en temps réel permettent aux opérateurs d'affiner les mélanges de boues, de prévenir les défauts et d'optimiser les performances de polissage, ce qui rend ces outils indispensables pour les fournisseurs d'équipements d'analyse et de test et de consommables CMP.

Avantages de la surveillance continue pour l'optimisation du CMP

La surveillance continue grâce aux capteurs en ligne de Lonnmeter transforme le processus de polissage mécano-chimique en fournissant des informations exploitables et en réalisant des économies significatives. La mesure en temps réel de la densité de la barbotine et le suivi de la viscosité réduisent les défauts tels que les rayures ou le surpolissage jusqu'à 20 %, selon les normes du secteur. L'intégration avec un système PLC permet un dosage et un contrôle automatisés du processus, garantissant ainsi le maintien des propriétés optimales de la barbotine. Cela se traduit par une réduction de 15 à 25 % des coûts des consommables, une réduction des temps d'arrêt et une meilleure uniformité des plaquettes. Pour les fonderies de semi-conducteurs et les prestataires de services CMP, ces avantages se traduisent par une productivité accrue, des marges bénéficiaires plus élevées et la conformité à des normes telles que la norme ISO 6976.